再生核心专题之打破外资垄断！泛半导体废气治理第一股，OLED+集成电路产线刚需

最近半导体股价活跃，海豚继续介绍了几只半导体相关的股票，近段的车申半导体除了华亚智能，成剑环境可能会被很多人忽略。与龙顺环境等大气治理企业不同，主力泛半导体是光电显示集成电路领域，公司产品是下游客户生产过程中不可缺少的一部分，这与排气等大气处理装置由环境部门强制安装不同。随着OLED生产线的不断扩大和集成电路复杂性的提高，对公司产品的需求可以说是强劲的。本周，成检环境中标为GCO半导体近8000万人的工艺排气系统大团。那么它的质量到底怎么样呢？还有，看海豚今天为你深入分析！

之前关于华智能的分析链接如下。

半导体设备精密结构部件第一周！不仅是中美供应，还进入了AMAT、凡林等全球大牌供应链。

打破外资垄断，打破泛半导体工艺废气管理第一股，大气管理比技术和行业门槛更高。

盛建环境成立于2005年，初期产品以螺旋和焊接工艺排气管为基础，2011年公司不锈钢涂层风管通过洁净室专用排气和排气管系统认证。2012年以后，公司进入半导体工艺废气管理领域，打破了外国人垄断。受到京东方、华星光电、天马微电子、飞信诺、中电熊猫等行业客户的认可，2017年后公司L/S单体管理设备成功开发并获得订单，公司业务从中央治理团扩大到来源控制团，具备解决泛半导体工艺废气综合系统的能力。

目前我国大型大气治理供应商主要为龙净环保、清新环境、雪浪环境，主要伴随火电、钢铁行业的脱硫脱硝和除尘业务快速发展而来，聚焦于脱硫脱硝、除尘治理等末端治理，主要是针对颗粒物、SO2、HCl、氮氧化物、重金属和二噁英进行控制和净化，该治理需求如果非国家环保强制要求不予治理也不会影响生产。

相比之下泛半导体制造业的工艺极其复杂，涉及到物理、化学等过程，主要包括光刻、氧化、刻蚀、金属化等工序，各工序需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，各工序均会产生组分复杂、气体特性为剧毒、自燃或易爆性的工艺废气，主要有磷化氢（PH3）、四氟化硅、三氟化氮、砷化氢、二氯化硅烷、氨气等。

从工艺及技术处理上相比国内大型大气治理供应商，公司主要产品和服务涉及的技术更为广泛，除传统大气治理运用的脱硫、脱硝、除尘技术外，还包括源头控制技术、以及有毒废气、有机废气处理技术，且因为泛半导体制程产生的工艺废气大部分在剧毒物品分级分类中危险级别较高，要综合应用中央治理和源头控制技术，也就是先在生产区域配置适合气体特性的就地处理设备进行预处理，之后再排入中央治理系统进行集中处理。

因此相比其他大气治理领域而言，泛半导体行业工艺废气治理具有较高的技术和行业门槛，且废气治理系统及设备是其生产工艺不可分割 的组成部分，其安全稳定性直接关系到客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态健康，存在大量的国产化需求

废气治理系统收入占比达七成，其中非显示光电客户占比已提升至近20%

截至目前公司已全面掌握了酸碱废气处理、有毒废气处理、VOCs 处理、一般排气等中央治理技术，主要产品为废气治理系统及设备。

公司主要业务及产品如下图：

公司主要下游行业为光电显示、集成电路、光伏、PCB 等泛半导体行业。主要光电显示客户有京东方、华星光电、惠科光电、天马微电子、维信诺、和辉光电、彩虹股份；主要集成电路客户有ICRD（上海集成电路研发中心）、中芯国际、华虹半导体、北京集电、士兰微电子、芯恩、粤芯半导体、华为海思、中电系统、上海华力、合肥奕斯伟等

其中中电系统为公司前两大客户，2017-2019年收入占比分别为33.5%、25.8%、24.7%；京东方为公司前三大客户，2017-2019年收入占比分别为24.12%、21.8%、13.6%；惠科光电2019年跃居公司第一大客户，收入占比超24%。

公司光电显示项目如下图：

从收入结构看废气治理系统为公司第一大收入来源，2018、2019年收入分别同比大增65%、7%，收入占比达七成左右，这一方面得益于公司主要光电客户生产线的逐渐扩张，另一方面客户由光电显示行业逐步向集成电路、电子元器件、垃圾焚烧发电等多个行业扩展，到2020年上半年非光电显示行业在废弃治理系统的占比已上升至20%。

按照处理废弃种类，公司废弃治理系统主要由酸碱废气处理系统、有毒废气处理系统、VOCs 处理系统、一般排气系统和烟气净化系统等组成，其为非标定制化产品，复杂程度高，且随着公司废气治理系统中的自产设备占比从2017年的25.2%逐年提升至2019年的33.9%；因此废弃治理系统的毛利率从2017年的21.6%提升至2019年的31.6%。

2019年公司单体治理设备开始放量，收入规模已超3000万

公司废气治理设备以工艺排气管道为主，收入占比已从2017年的31.8%逐年下降至2019年的22.5%。不过另外一方面随着2019年公司L/S （PFCS 污染物处理装置）和 LOC-VOC（洁净室 EHS 处理装置）单体治理设备研制成功并取得较多订单，公司单体治理设备收入大幅提升，收入规模从2018年的300多万增至2019年的近3000万。且因为L/S 和 LOC-VOC单体治理设备与泛半导体工艺设备配套，技术难度较高，因此毛利率达37-39%左右，高于工艺排气管道31%左右的水平。

涉足湿电子化学品回收领域，并已在垃圾焚烧发电领域实现突破

公司还成立了子公司北京盛科达，专注于湿电子化学品供应与回收再生系统服务，并逐步成为公司新的利润增长点。2018 年公司完成首单湿电子化学品供应与回收再生系统，客户为武汉京东方，收入占比4.9%；2019年实现收入6182万，收入占比7%，目前主要客户有京东方、奕斯伟、和辉光电等。

不过目前国内泛半导体湿电子化学品供应与回收再生系统所需核心专用设备仍由日本、韩国、台湾地区主导，公司仍需要外购，与此同时公司2018年开始已开始进行湿电子化学品供应与回收技术研发储备和部分配套设备及材料的开发工作，将逐步加快进口替代步伐。

与此同时公司还将垃圾焚烧发电、石化、表面涂装等行业纳入发展战略，并已实现了垃圾焚烧发电领域的业务突破，目前在垃圾焚烧发电行业订单主要为烟气净化系统。

从行业来看我国垃圾焚烧发电的处理能力尚存巨大缺口，根据规划到 2020 年底全国城镇生活垃圾焚烧处理设施能力占无害化处理总能力要达50%以上，“十三五”期间垃圾焚烧总市场预计规模将达 3,236 亿元，而焚烧设施的烟气净化系统建设成本是总投资的 30-50%。

合计订单达6亿左右，光电显示+集成电路投资规模将持续走高，尤其是集成电路工艺难度的提升污染物排放也将相应增加

截至2021年1月底公司在手订单余额达 3.51 亿，已中标未签合同的 2.52 亿，合计6亿订单充足。

从下游需求看光电显示行业环保投资一般占总投资（包括生产设备购置费和工程建设费）的 2.5%-3%，其中废气处理投资占比最高，超过 1/3。2018-2020年包括LCD在内的面板产线投资规模分别高达1975亿、2365亿、1679亿。未来2年仅OLED的增量投资就达2692亿。

在集成电路行业，2017-2020 年全球投产的半导体晶圆厂为 62 座，其中 26 座位于中国，占全球总数约 42%。2018-2020 年，中国大陆 12 寸、8 寸晶圆厂建设投资将达 7,087 亿元，年均投资达2362亿。目前国内在建/拟建晶圆产线投资规模超 1.5 万亿元，投资规模将持续走高。

因此虽然集成电路行业环保投资一般占总投资的比例不超过 5%，但因集成电路投资巨大，其在环保方面的投入往往达上千万甚至上亿元。

其中薄膜沉积、光刻和刻蚀是集成电路三大核心工艺，反复循环多次，随着集成电路线宽不断缩小，直接导致集成电路制造工序愈为复杂。据统计20 纳米工艺所需工序约为 1,000 道，而 10 纳米和 7 纳米工艺所需工序已超过 1,400 道，随着工序步骤的大幅增加意味着污染物排放的增加。

同时随着制程纳米数的逐渐降低，直至小于光刻机的波长时，光刻制程会受到驻波效应的限制，需要采用多重模板工艺，重复多次薄膜沉积和刻蚀工序以实现更小的线宽，使得薄膜沉积和刻蚀次数显著增加。根据 SEMI 统计，20 纳米工艺需要的刻蚀步骤约为 50 次，而 10 纳米和 7 纳米工艺所需刻蚀步骤则超过 100 次总体在集成电路领域工序步骤的大幅增加以及工艺复杂程度的增加意味着污染物排放的增加。

可比公司：

至纯科技——高纯工艺系统与设备，用于半导体、LED、光伏、医药及食品等领域

清新环境——为燃煤电厂烟气脱硫脱硝除尘业务，用于电力、钢铁、有色金属、石化等领域。

海豚结语：

具有一定稀缺性，为A股首家泛半导体领域废气治理公司，其技术含量高于传统的脱硫脱硝大气治理公司，打破了此前外资垄断，且公司废气治理系统中自产设备占比正逐年提升，随着下游需求的不断增加，公司在手订单充足，近年来业绩保持稳健增长，可保持适当跟踪。